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第7章cD223
772母盘制作
盘母盘制作是光盘制造的第一个过程,整个过程如图7.20所示。在很多情况下会使用光刻过程来创建一张母盘,其中所使用的技术类似于制造集成电路时使用的显微光刻法。把张直径约为240mm、厚度为6mm的简单浮法玻璃板放在碱和氟利昂中清洗、磨平,并用ceO2光学抛光机抛光。这块玻璃板要在一间经过超净灰尘过滤的绝对无尘室中制备。在经过检查和清洁以后,用一束激光对这块玻璃板进行光学信号掉落测试,反射光强度中的任何突发信息掉落都会使这块玻璃板被废弃。为了让这块玻璃板能够用于光刻母盘制作,需要涂上一种粘合剂,然后再通过旋涂方式敷上一层光刻剂。光刻涂层的深度是至关重要的,因为它决定了最终的凹坑深度。这块玻璃板在一个恒温箱中进行烤制并存储,其保存期限为几星期。这样,这块玻璃板就可以用来进行母盘制作了。
光刻胶
光刻胶层
玻璃
激光
激光记录
显影冲洗
金属
蒸发
金属原盘
电铸
盘
aa a
母盘
压模
母盘
压模
模塑成
反射性
金属
金属喷镀
倌号面
1保护
图7.20:CD光盘制造过程主要步骤的总结